说是一个车间,其实是一个20x60米的大厂房,中间还被分隔成很多个工作区。

镜片粗坯在这里先做铣磨,这其实就是粗磨,将镜片表面加工成差不多需要的模样,然后精磨固定R值。

精磨完毕的镜片只完成了工作量的15%~20%,之后是抛光-清洗,循环数次。磨边、镀膜、有的镜片组合需要在车间胶合。

“抛光粉这个小辅料也确实不简单,我们1952年开始做的时候低估抛光粉的重要性了,”总工说,“第一批生产的抛光粉并不好用,磨坏了一批镜片,还好只是苏六的镜片。”

“七车间使用的抛光粉规格在全厂最高,我们是在今年2月才做出来的,此前直到1955年1月,我们都在用苏联进口的氧化铈抛光粉。”

抛光粉首先要求是颗粒度绝对均匀,硬度要稍大于被抛光材料的硬度。光刻机光学镜头用的是质地较硬的玻璃,抛光粉得用氧化铈材质,直径略粗。

除了颗粒度绝对均匀,还要求无杂质,具有一定的晶格形态及缺陷,有适当的自锐性。

在加工光刻机镜片时,俗称“红粉”的氧化铁抛光粉就不能满足要求了,从1952年到1955年,长光还分出一组人去研制氧化铈抛光粉,三年乃成。

而且,玻璃表面的抛光不只用抛光粉一种原料,还有一种原料叫做抛光胶。玻璃表面的加工,先上抛光粉,再上抛光胶。

长光加工光刻机镜片,第一次用松香抛光胶,精度不达标,失败。现在换上的是沥青-松香混合抛光胶。

……

七车间的尽头,也是整个光学系统制造车间最高技术含量的地方,无尘精抛室。

在这里,唐华、王大衍、总工先去更衣室,换衣服换鞋、清洁全身、戴泳帽、戴口罩,就跟在隔壁光刻机工厂进入生产线时一样。

第一台非接触式光刻机昨天试运行时的工艺制程是10微米,和现在北京、上海的上一代生产线一样,不过这台光刻机还有提升的潜力,或许可支持7微米甚至5微米制程。

这个无尘精抛室里面,镜面加工的精度要求是1微米。

因此不得-->>

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