在光刻机那儿,工人拿出装底板(掩膜)的小匣子,从北京运来的底板被小心翼翼地安装到位、卡死,又用仪器反复测量它的安装精准度和水平性。

“第一次,就两百片吧,我要看看这台机的良品率变化。”唐华说。

芯片生产线运行起来,有高频的噪声,但几乎没有震动。

震动和低频噪声(同样说明机器在震动)对芯片生产是大麻烦,机器本身肯定会尽量避免震动。实际上芯片生产线也尽量要求建在地震很少的地方。

就在小声但很尖利的噪声中,100毫米直径的单晶硅片被涂覆上了光刻胶,进入生产线开始流转。

“老王,可别忘记了,新的光学透镜系统,要想办法把光柱直径加到150毫米,”唐华说,“抚顺那边,150毫米直径的单晶硅柱其实已经合格了。”

王大衍:“我们在做150毫米的设计和做工艺标准手册。……100毫米到150毫米,可又是一次艰苦战斗。”

……

单晶硅圆片在组装好的生产线间流动,一台机器再过到另一台机器。

到下午,第一片硅片走下了生产线,接着第二片、第三片……几乎是哗啦啦地往外出。把200片硅片全部吐出来,生产线停机了。

测试生产就是这样。如果这条生产线全速开动起来,一条线就能满足1954年全世界(其实是中国和苏东)国家的计算机需求。

“本来我是想拿X5404芯片的底板来做测试的,”唐华说,“但是测试X5404的良品率可就没那么简单,那样我们还得往长春运一组技术工人,一个封装车间。”

既然这样很不划算,那不如做一个简单的、但也能测试每一块硅晶圆的良品率的玩意。

唐华用工具夹起一块硅片,上面印刷着几十个相同的图案。把这片硅片夹到一台仪器上面,启动仪器,就自动伸出一个接头,贴在硅片上,对准硅片上的小图案。

这是车间中的一个单独隔间,昏暗如冲印胶卷的暗房。唐华掏出一个标准的强光手电,打开,让光线照在硅片上。

仪器上用来测试的一个小灯泡亮了起来。>

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