唐华把强光手电的按钮按了两下,手电发出的光强降低了两档。
仪器上的小灯泡也变暗了许多。
唐华关掉手电,仪器的小灯泡完全黑了。
“哦霍?”黄坤说,“爱因斯坦的光电效应?”
唐华:“比那要简单得多,Photovoltaics,光生伏特效应。”
达文西的太阳能手电,不对,光伏效应,是1839年发现的。
1883年,查尔斯.弗瑞兹在硒片覆上一层极薄的金层,制成了第一块光伏电池——硒和金箔形成了半导体金属结,不过只有1%的光电转换效率。
想要普及开来,那就不能用硒和金箔这种贵重的东西了。在硅中掺入一定量的特定杂质也可以有光伏效应,而且转换效率比金箔高得多。
……
用来测试光刻机的良品率,算是光伏电池的一个另类应用……
只要测测一块硅片在已知光强下生出了多少电流,和理论值的差距是多少,立刻就知道了光刻机/芯片生产线加工这块硅片的良品率。
而如果刻一批X5404,你还得逐个测试一块硅片上的几十个处理器都有多少个能运转,有多少个是废品。
第九十一章,激光平面干涉测量仪
用光伏半导体来测试非接触式掩膜光刻机的底板(掩膜)寿命确实非常快捷。
这一天的试生产一共刻了200片单晶硅。在北京和上海的直接接触式掩膜光刻机,底板寿命就是200次。
底板和硅片/光刻胶直接接触,无论怎样轻拿轻放,磨损和污染都是不可避免的。大概从第40片开始,底板图案出现破损,光刻胶晒出的图案就出现瑕疵,出产的芯片良品率逐渐下降。第200片是个临界点,再继续使用这个底板,良品率已经低到不划算的地步,这块底板就该报废,该换一块新的了。
但是制作一块底板的价格可不便宜……
长春的这条生产线,第200片单晶硅的良品率和第1片并没有什么明显变化。把每片单晶硅的良品率做成表格,第20片有一个小高点,-->>