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此时的林本坚并不出名,他还只是tsm的资深处长,虽然跻身管理层,但职位高不到哪里去。
在2002年这个节点上,全世界的光刻机产业都陷入到了一个瓶颈阶段,摩尔定律眼看着就要失效,新一代的光刻机技术路线却迟迟未能确立。
尤其是漂亮国打算在极紫外光路线上下注,好一脚踢开碍眼的康尼,彻底将岛国半导体产业按死。
可知易行难,极紫外光并不是那么容易搞定的,甚至比起康尼的157nm的f2激光路线要激进得多。
asml就在这个关键的技术节点上卡了很久,被卡得欲仙欲死,连他们自己都不知道自己要到何年何月才能取得突破。
这一天,林本坚拿着自己写的方案,找到了他的上司。
“姜总,这是我的沉浸式光刻方案,请过目。”
他口中的蒋总,名字叫做姜尚易,是tsm公司的营运长。
“哦?沉浸式光刻方案?”
姜尚易眼前一亮,迫不及待地翻开了文件夹。
然而,看完林本坚的方案之后,姜尚易却陷入了沉默之中。
毫无疑问,林本坚是有才华的人,姜尚易也很欣赏林本坚,不然也不会在林本坚创业失败之后来tsm求职的时候,给了他入职tsm的机会了。
但眼下林本坚的建议,却是让他有些犯难。
他合上文件夹,看向林本坚,说道:“小林啊,关于这个方案,你是怎么想的?”
林本坚也没想太多,作为一个技术宅,他选择了实话实说,给出的建议也很简单:“我就是觉得极紫外线的思路是对的,而想要降低光的波长,光源出发才是根本方法。毕竟连高中学生都知道,水会影响光的折射率。”
姜尚易微微皱眉,随后叹了口气,说道:“所以呢,你就建议在透镜和硅片之间加一层水,将原有的193nm激光经过折射,然后直接越过157nm的天堑,降低到132nm?”
林本坚兴奋地点头:“没错,我就是这么想的。”
眼见这位下属还没意识到问题的严重性,姜尚易不得不提醒他:“你-->>