大衍走到仪器厂边上正在建设的光纤厂工地。

“赵忠尧老师和他的队伍是3月2日回北京的,他回去的时候,工地刚开始铲地皮。现在过去两个月了,虽然还是没有楼房竖立起来,但已经到处是建筑工人和建材,”王大衍说,“明年的4月,光纤厂就要试试量产光纤了。”

唐华:“光学玻璃组,现在炼出来的玻璃还是10dB级别吗?”

“略低于10dB,但离你说的4.5dB的目标,可能还得一段时间。”

唐华:“今天的重大成果,你知道意味着什么。”

王大衍:“长春又要建一座新厂了。叫做……光刻机厂?”

唐华点点头,“如果广义来说,接触式和非接触式光刻机都叫光刻机,但我还是觉得,非接触式底板的光刻机才是真正的光刻机。”

底板就是掩膜。苏州鸿海公司的工程师们自己给它起了个“底板”的通用名称,唐华已经改不掉了。

王大衍上次回北京的时候已经算是X小组成员了,所以他知道唐华说的话的意思,但还是感叹道:“为了走出这一小步,代价好大啊。”

为了这一堆镜片,王大衍在长春闭关三年,而且把一个研究所和一个光学仪器厂折磨得痛不欲生……

唐华:“我们现在通用计算机、专用计算机都加上,一年产量不过一千多台,所以还看不出效率有太大的差别。未来计算机和各种准系统的年产量会指数上升,到年产一百万台、甚至一千万台,计算机的制造成本也要指数下降,那时候只有非接触式工艺才有前途。”

底板就像底片,上面有集成电路的缩微图样。接触式光刻机把底板放在硅片上,然后用汞灯照。但这样底板和硅片上的光刻胶会相互污染,其中底板的污染比较要命。

美国曾尝试过用接触式光刻机生产1微米工艺的芯片,结果发现当刻到第五张硅片的时候,掩膜(底板)的线条就开始出现瑕疵,刻到第25张的时候掩膜已完全损坏不可用。

现在X小组刚刚实现10微米工艺,底板的寿命就从16微米的500次缩减到大概200次了。

但早期的技术又不得不让掩膜直接接触硅片,因为这时候用的是汞灯-->>

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