,”车间实验指挥说道,“液面稳定之后找温度。”

抚顺单晶硅冶炼厂采用直拉法,也就是直拉法又称为切克劳斯基法,是1918年由切克劳斯基发明,其实不是专指单晶硅,而是大多数晶体物质都可以用的单晶生长方法。

“引晶。”

为了形成单晶硅,还需要控制晶体的方向。坩埚带着多晶硅熔化物在旋转,然后把一颗籽晶浸入其中,由拉制棒带着籽晶作反方向旋转,同时慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅会粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不断地生长上去。

“100毫米了,”温控员现在没有太多的事情,他比总指挥还专注地从观察窗往里望。“总指挥,之前我们做的最大的单晶硅柱就是100毫米。……120毫米了!”

最后,单晶硅柱的直径到达160毫米左右,然后看直径也差不多达标了,

坩埚还在不断旋转,旋转……

单晶硅柱到达160毫米的预想直径后,就不再新吸附什么物质来壮大自己,而是开始让这根160毫米的单晶硅柱慢慢往上提。这时候,在单晶硅炉外面的六七名实验员,也目不转睛地看着玻璃窗中出现了一个还略微发着红光的柱状物体。

一边提,籽晶后面的电机还在带动整个体系旋转。

这就是为什么6寸单晶硅生产炉要比4寸还高的原因。一方面单晶硅柱质量变大了,至少你的坩埚要能多装一些高纯度二氧化硅砂吧。其次,直径变大如果同时让一根硅柱的长度也变大,那岂不是更加能减少单位集成电路的生产成本?

用直拉法生长后,单晶棒将按适当的尺寸进行切割,然后进行研磨,再用化学机械抛光工艺使其至少一面光滑如镜。这几道工序比拉出单晶硅的原胚硅柱还要费时,抚顺单晶硅冶炼厂用了整整两天,才得到一整箱的单晶硅片,被机器研磨得闪闪发光。

……

“好的,我知道了。抚硅了不起啊!”放下电话,唐华对张爵、黄坤、谢希德说:

“抚顺单晶硅冶炼厂有了新的技术突破,单晶硅柱的直径从现在的100毫米提高到了150毫米。以后我们的集成电路芯片就会有更高的生产效率,或者说更低的生产成-->>

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